[发明专利]蒸镀掩模、蒸镀装置、蒸镀掩模的制造方法、电致发光显示装置的制造方法

摘要

蒸镀掩模(1)为由金属掩模(10)和树脂掩模(20)层叠而形成的蒸镀掩模，金属掩模(10)具有至少1个金属掩模开口(11)，树脂掩模(20)具有多个树脂掩模开口(21)，其中，从金属掩模开口(11)露出的、在X轴方向的各位置沿着Y轴方向配置的至少1个树脂掩模开口(21)的Y轴方向的总开口长度，随着从X轴方向的中央部向Y轴方向的两端部去而变长。

主权项

1.一种蒸镀掩模，其由金属掩模和树脂掩模层叠而形成，其特征在于：所述金属掩模具有至少1个第一开口部，所述第一开口部形成为：第一方向的开口长度随着从与所述第一方向正交的第二方向的中央部向所述第二方向的两端部去而变长，所述树脂掩模具有多个第二开口部，所述多个第二开口部沿着所述第一方向配置有至少1个，并且沿着所述第二方向配置有多个，从所述第一开口部露出的、在所述第二方向的各位置沿着所述第一方向配置的所述第二开口部的所述第一方向的总开口长度，随着从所述第二方向的中央部向所述第二方向的两端部去而变长。