[发明专利]一种6Li-D复合靶膜的制备方法有效
申请号: | 201710001095.2 | 申请日: | 2017-01-03 |
公开(公告)号: | CN106868480B | 公开(公告)日: | 2018-11-30 |
发明(设计)人: | 樊启文;胡跃明;张榕;王华 | 申请(专利权)人: | 中国原子能科学研究院 |
主分类号: | C23C20/08 | 分类号: | C23C20/08;C01B6/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 102413 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明属于靶件制备技术领域,公开了一种6Li‑D复合靶膜的制备方法。该方法包括以下步骤:(1)将6LiF和(CD2)n两种粉末材料以6Li和D的原子比为1:3~1:5的比例均匀混合;(2)向上述混合物中加入二甲苯并在加热下搅拌得到均匀胶状悬浊液;(3)将所述悬浊液倒入已调平的石英玻璃器皿内;(4)在石英玻璃器皿上方倒扣一个可导热容器,对该可导热容器均匀加热至所述胶状悬浊液的温度为90~120℃。(5)加热至二甲苯挥发完毕后,形成均匀的6Li‑D复合靶膜,将其从石英玻璃器皿底部剥离;(6)将步骤(5)得到的6Li‑D复合靶膜放入不锈钢夹片中,通过冷轧机轧制得到所需厚度的6Li‑D复合靶膜。利用该方法能够制备质量厚度为0.5~6mg/cm2的复合靶膜且厚度均匀、稳定性好。 | ||
搜索关键词: | 一种 li 复合 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种6Li‑D复合靶膜的制备方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:(1)将6LiF和(CD2)n两种粉末材料以6Li和D的原子比为1:3~1:5的比例均匀混合;其中6LiF的粒径为5~10μm,(CD2)n的粒径为50~100μm;(2)向步骤(1)中得到的混合物中加入溶剂二甲苯并在加热下搅拌得到均匀胶状悬浊液;其中二甲苯和混合物的体积质量比为1ml:4mg~1ml:12mg;(3)将步骤(2)得到的均匀胶状悬浊液倒入底面为平面的石英玻璃器皿内;该石英玻璃器皿放置在用水平仪校准过的平台上;(4)在步骤(3)所述的石英玻璃器皿上方倒扣一个可导热容器,对该可导热容器均匀加热至所述胶状悬浊液的温度为90~120℃,以使(CD2)n在二甲苯的饱和气氛中充分聚合,同时6LiF均匀地渗入(CD2)n中;所述倒扣容器上留有一个向外的导流口,以便二甲苯挥发溢出;(5)加热至二甲苯挥发完毕后,在石英玻璃器皿底部表面形成均匀的6Li‑D复合靶膜,将6Li‑D复合靶膜从石英玻璃器皿底部剥离;(6)将步骤(5)得到的6Li‑D复合靶膜放入不锈钢夹片中,通过冷轧机轧制得到所需厚度的6Li‑D复合靶膜;步骤(1)中所述(CD2)n为氘化聚乙烯。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C20-00 通过固态覆层化合物抑或覆层形成化合物悬浮液分解且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C20-02 .镀金属材料
C23C20-06 .镀金属材料以外的无机材料
C23C20-08 ..镀化合物、混合物或固溶体,例如硼化物、碳化物、氮化物
C23C20-04 ..镀金属
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C20-00 通过固态覆层化合物抑或覆层形成化合物悬浮液分解且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
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