[发明专利]一种柴油发动机零件表面多层耐磨减摩薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201710003739.1 | 申请日： | 2017-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN106868504B | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 周晖;杨拉毛草;郑军;张延帅;张凯锋;贵宾华;郝宏;苟世宁;霍丽霞 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06;C23C16/32;C23C16/56 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 钟国 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 一种柴油发动机零件表面多层耐磨减摩薄膜，在柴油发动机零件表面由内向外依次包括Cr层、Cr/MeC过渡层、MeC‑DLC层、a‑C:H软硬交替层和MoS2层，其中，Me为过渡金属元素。先在柴油发动机零件表面磁控溅射沉积Cr层；然后磁控溅射沉积Cr/MeC过渡层；再采用磁控溅射/等离子体辅助化学气相复合沉积法沉积MeC‑DLC层；接着采用等离子体辅助化学气相沉积法沉积a‑C:H软硬交替层；再采用激光刻蚀法在a‑C:H软硬交替层上刻蚀微织构；最后磁控溅射沉积MoS2层。本发明的薄膜能显著的改善柴油发动机零部件的表面性能，提高了其使用寿命、能源使用效率及可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柴油发动机 零件 表面 多层 耐磨 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种柴油发动机零件表面多层耐磨减摩薄膜的制备方法，在柴油发动机零件表面由内向外依次包括Cr层、Cr/MeC过渡层、MeC‑DLC层、a‑C:H软硬交替层和MoS2层，其中，Me为过渡金属元素；包括如下步骤：（1）在柴油发动机零件表面磁控溅射沉积Cr层；（2）在Cr层上磁控溅射沉积Cr/MeC过渡层；（3）采用磁控溅射/等离子体辅助化学气相复合沉积法在Cr/MeC过渡层上沉积MeC‑DLC层；（4）采用等离子体辅助化学气相沉积法在MeC‑DLC层上沉积a‑C:H软硬交替层；（5）采用激光刻蚀法在a‑C:H软硬交替层上刻蚀微织构；（6）在a‑C:H软硬交替层上磁控溅射沉积MoS2层。
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