[发明专利]钽酸锂单晶基板的制造方法有效
| 申请号： | 201710003835.6 | 申请日： | 2017-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN106948005B | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 阿部淳 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/30 | 分类号： | C30B29/30;C30B33/02 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 王勇;李科 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明提供一种不需减压工序的，均质性高的体积电阻率为1×10 |
||
| 搜索关键词： | 钽酸锂单晶基板 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种钽酸锂单晶基板的制造方法，所述钽酸锂单晶基板的体积电阻率为1×1010Ω·cm以上，1×1012Ω·cm未满，其特征在于，包括体积电阻率为1×1012Ω·cm以上，并且将单区域构造的钽酸锂单晶基板在常压下，氢氛围中，400℃以上，居里温度以下的温度进行热处理的第一工序和，将在该第一工序处理的钽酸锂单晶基板，与碳酸锂一起，常压下，氢或氮氛围中，400℃以上，居里温度以下的温度进行热处理的第二工序。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于信越化学工业株式会社，未经信越化学工业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710003835.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：轨道车辆的车轮
- 下一篇：一种便于移动的支腿装置
