[发明专利]一种纳米压印装置中的压印滚轮及纳米压印装置有效
| 申请号： | 201710003879.9 | 申请日： | 2017-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN106773531B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 王英涛;姚继开 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种纳米压印装置中的压印滚轮及纳米压印装置，涉及纳米压印技术领域，该压印滚轮的滚轮体中充有气体且施压面为柔性材质，能够减小在压印的过程中，压印模板受压不均匀的问题。该纳米压印装置中的压印滚轮，包括滚轮轴以及套在滚轮轴上的滚轮体，该滚轮体包括：与滚轮轴连接的内侧面、用于与待压对象接触的施压面、以及连接内侧面和施压面的连接面，内侧面、连接面以及施压面构成的腔室中充有气体，施压面为柔性材质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 压印 装置 中的 滚轮 | ||
【主权项】：
一种纳米压印装置中的压印滚轮，包括滚轮轴以及套在所述滚轮轴上的滚轮体，其特征在于，所述滚轮体包括：与所述滚轮轴连接的内侧面、用于与待压对象接触的施压面、以及连接所述内侧面和所述施压面的连接面，所述内侧面、所述连接面以及所述施压面构成的腔室中充有气体，所述施压面为柔性材质。
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