[发明专利]用于蚀刻室的快速阻抗切换的变压器耦合电容性调谐电路有效
| 申请号： | 201710006522.6 | 申请日： | 2017-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN106960776B | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 龙茂林;亚历克斯·帕特森 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;包孟如 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于蚀刻室的快速阻抗切换的变压器耦合电容性调谐电路。用于感应耦合等离子体(ICP)室的变压器耦合电容性调谐(TCCT)电路包括包含第一开关电容器电路和第一电感器的匹配电路。第一开关电容器电路包括第一端子、第二端子、连接到第一端子和第二端子中的至少一个的第一电容器、连接到第一端子和第二端子中的至少一个的第二电容器、以及第一开关，该第一开关与所述第一电容器和所述第二电容器中的至少一个通信，以改变所述第一端子和所述第二端子之间的电容值。功率分配器与ICP室的匹配电路以及感应线圈通信。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 蚀刻 快速 阻抗 切换 变压器 耦合 电容 调谐 电路 | ||
【主权项】：
一种用于感应耦合等离子体(ICP)室的变压器耦合电容性调谐(TCCT)电路，其包括：匹配电路，其包括第一开关电容器电路和第一电感器，其中所述第一开关电容器电路包括：第一端子；第二端子；第一电容器，其连接到所述第一端子和所述第二端子中的至少一个；第二电容器，其连接到所述第一端子和所述第二端子中的至少一个；以及第一开关，其与所述第一电容器和所述第二电容器中的至少一个通信，以改变所述第一端子和所述第二端子之间的电容值；和功率分配器，其与所述匹配电路和所述ICP室的感应线圈通信。
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