[发明专利]一种可拉伸半导体电阻式柔性气体传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种具有微褶皱薄膜结构的可拉伸半导体电阻式柔性气体传感器及其制备方法。采用可拉伸的绝缘衬底‑聚丙烯酸酯双面泡绵胶带（VHB），将其单向预拉伸一定的程度固定在刚性基底上；在预拉伸状态的VHB衬底上进行图案化的石墨烯电极和胶体量子点薄膜的制备，继而缓慢回缩VHB衬底完成传感器制备。上述方法中制备的气体传感器具有微褶皱薄膜结构的气敏层和图案化的石墨烯电极，该气体传感器具有可拉伸的柔性特征，传感器的制作温度和工作温度可低至室温，室温下可检测气体浓度的瞬间或微量变化，响应恢复速度快且灵敏度高，同时该气体传感器具有抗环境湿度干扰特性，具有更好的长期稳定性。

主权项

一种可拉伸半导体电阻式柔性气体传感器，其特征在于，包括：柔性绝缘衬底，附着于所述柔性绝缘衬底上的图案化石墨烯电极和具有微褶皱薄膜结构的胶体量子点气敏层；所述柔性绝缘衬底具备可拉伸或回缩特性，所述柔性绝缘衬底的表面粗糙且具有粘附力，有利于石墨烯电极的粘附转移和所述胶体量子点在其表面牢固成膜；所述图案化石墨烯电极作为气体传感器的工作电极；所述胶体量子点薄膜气敏层用于通过吸附目标气体并引起电子转移使得薄膜电阻改变，通过石墨烯电极检测到电阻信号的改变，从而实现气体检测。