[发明专利]一种制备非蒸散型薄膜吸气剂的方法有效
| 申请号： | 201710009732.0 | 申请日： | 2017-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN106835024B | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | 周东平 | 申请（专利权）人： | 苏州晶鼎鑫光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/14;C23C14/54;B01J20/02 |
| 代理公司： | 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589 | 代理人： | 王志敏 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区娄*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种制备非蒸散型薄膜吸气剂的方法，将若干吸气金属一一对应放置于镀膜机的若干蒸发舟内作为靶材，吸气金属至少为两种，各蒸发舟的工作参数单独可控，各蒸发舟处一一对应设有膜厚监测仪，以监测对应蒸发舟内吸气金属的蒸发速率；将基片和蒸发舟放入镀膜机的真空腔内；对真空腔内抽真空；对吸气金属进行预熔，并控制各蒸发舟的工作参数使各吸气金属同时蒸发；根据膜厚监测仪的反馈值调整蒸发舟的工作参数，以将各吸气金属的蒸发速率调整为预设比值。本发明可以同时蒸发多种吸气金属，无需额外制作合金，有益于节约吸气剂的制备成本和时间，同时，通过控制各吸气金属的蒸发速率，可以精确控制吸气剂的成分。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 蒸散 薄膜 吸气 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制备非蒸散型薄膜吸气剂的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、将若干吸气金属一一对应放置于镀膜机的若干蒸发舟内作为靶材，所述吸气金属为三种，分别是钛、锆、钒，蒸发舟的数量为三个，各蒸发舟的工作参数单独可控，各蒸发舟处一一对应设有膜厚监测仪，以监测对应蒸发舟内吸气金属的蒸发速率；S2、将基片和蒸发舟放入镀膜机的真空腔内；S3、对真空腔内抽真空；S4、对吸气金属进行预熔，并控制各蒸发舟的工作参数使各吸气金属同时蒸发；S5、根据膜厚监测仪的反馈值调整蒸发舟的工作参数，以将钛、锆、钒的蒸发速率比调整为3.874∶3.845∶2.281；所述膜厚监测仪为晶振。
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