[发明专利]半导体元件以及其制作方法

摘要

本发明公开一种半导体元件以及其制作方法，包括提供基板、多条字符线与多条位线，然后于各源极/漏极区上形成存储节点接触，使各存储节点接触的上表面于一方向上的宽度小于各存储节点接触的下表面于此方向上的宽度。

主权项

1.一种半导体元件，其特征在于，包括：基板，包括多个主动区，且各该主动区包括两个源极/漏极区，分别位于各该主动区的两端；多条字符线，设置于该基板中，且各该字符线沿着一第一方向延伸设置；多条位线，设置于该基板上，且各该位线沿着一第二方向延伸设置并横跨该多个字符线，其中各该源极/漏极区分别设置于由任两相邻的该多个字符线与任两相邻的该多个位线围绕出的一区域中；以及多个存储节点接触，分别设置于该多个源极/漏极区上，其中各该存储节点接触的上表面于该第二方向上的宽度小于各该存储节点接触的下表面于该第二方向上的宽度。