[发明专利]微波等离子体光源及其实现方法有效
| 申请号： | 201710011431.1 | 申请日： | 2017-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN107039234B | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | 潘栓龙;李振宝;施理 | 申请（专利权）人： | 广州莱肯信息科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J65/04 | 分类号： | H01J65/04 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 林瑞云;彭东梅 |
| 地址： | 510000 广东省广州市高新技*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微波等离子体光源，包括：可编程频率源：用于生成RF信号并输入到微波幅度/相位调整装置，连接于所述的微波幅度/相位调整装置；微波幅度/相位调整装置：用于链路中射频信号的幅度和相位调整，连接射频功率放大器；射频功率放大器：用于系统中射频信号放大，连接发光单元及嵌入式控制单元；发光单元：包括灯珠和谐振腔体，连接嵌入式控制单元。该微波等离子体光源可广泛应用于不同的应用场景，光源系统功率大、效率高、稳定可靠、寿命长。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 等离子体 光源 及其 实现 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微波等离子体光源， 其特征在于，包括：可编程频率源：用于生成RF信号并输入到微波幅度/相位调整装置，连接于所述的微波幅度/相位调整装置；微波幅度/相位调整装置：用于链路中射频信号的幅度和相位调整，连接射频功率放大器；射频功率放大器：用于系统中射频信号放大，连接发光单元及嵌入式控制单元；发光单元：包括灯珠和谐振腔体，连接嵌入式控制单元；嵌入式控制单元：通过检测电源、射频功率放大器单元中的相关物理量，根据一定的算法自适应的调整可编程频率源、幅度/相位调整单元的频率及幅度和相位参量使光源系统快速起辉、并能稳定运行，同时能检测系统故障并实施保护，分别控制链接可编程频率源、微波幅度/相位调整装置及射频功率放大器；及用于供电的电源，电源分别与所述的射频功率放大器和所述的嵌入式控制单元连接。
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