[发明专利]一种内置MEMS六轴传感器产品的校准方法及校准系统

摘要

本发明公开了一种内置MEMS六轴传感器产品的校准方法，包括如下步骤：设置传动装置A、B、测试平台；控制传动装置A、B带动测试平台绕X轴方向或Y轴方向，按预设角度从起点运动到终点，在每个角度上静放一定时间，然后读出当前被测物上的传感器数据；把每个角度上读出的传感器数据转化为坐标点，拟合实际状态运动轨迹坐标系N与理想状态运动轨迹坐标系M，得到当前运动轨迹的误差角度β，计算误差角度tanβ进行校准补偿，补偿后的输出结果，然后把误差补偿数值写入产品内部存储器；在产品使用过程中，读取传感器的实时数据，并根据传感器当前的状态，对应误差补偿值进行修正，实现传感器校准。本发明还公开了实现该方法的校准系统。

主权项

1.一种内置MEMS六轴传感器产品的校准方法，其特征在于，其包括以下步骤：(1)设置测试平台，用于固定被测物；(2)设置传动装置A，传动装置A上连接有Y轴机构，该Y轴机构在传动装置A控制下连接到测试平台或断开与测试平台的连接，以及在传动装置A控制下，带动测试平台绕Y轴方向旋转；(3)设置传动装置B，传动装置B上连接有X轴机构，该X轴机构在传动装置B控制下连接到测试平台或断开与测试平台的连接，以及在传动装置B控制下，带动测试平台绕X轴方向旋转；(4)把被测物放置在测试平台上沿着坐标系45°方向，控制传动装置A、B带动测试平台绕X轴方向或Y轴方向，按预设角度从起点运动到终点，在每个角度上静放一定时间，然后读出当前被测物上的传感器数据；(5)把每个角度上读出的传感器数据转化为坐标点，其中，实际运动轨迹：被测物从A点运动到B点，运动距离为L，坐标系表示为N，实际运动轨迹坐标点为B(x，y2)；理想运动轨迹：被测物从AA点运动到BB点，坐标系表示为M，理想运动轨迹点为BB(x，y1)；(6)拟合实际运动轨迹坐标系N与理想运动轨迹坐标系M，得到当前运动轨迹的误差角度tanβ，利用计算误差角度tanβ进行校准补偿，其算法tanβ＝(y2‑y1)/(y2+y1)，根据上述的角度误差计算方法，假设当前运动轨迹的坐标点为D(x，y)，补偿后的最优轨迹坐标为DD(x，yy)，补偿后的输出结果，校准过程结束。