[发明专利]蚀刻电极装置

摘要

本发明公开了一种蚀刻电极装置，包括至少一个电极本体，电极本体的内部设有冷却通道，冷却通道包括入水口和出水口；支撑框体，电极本体设于支撑框体内，支撑框体设有至少一个第一安装孔和至少一个第二安装孔；输液机构，输液机构包括第一输液组件和第二输液组件，第一输液组件穿设于第一安装孔、并与入水口连通，第二输液组件穿设于第二安装孔、并与出水口连通；及冷却液供给装置，冷却液供给装置与第一输液组件、第二输液组件管路连接。因而通过冷却液在电极本体内部的冷却通道内循环流动，可以有效降低气体电离撞击电极而产生的热量，进而确保产品蚀刻均匀性好，蚀刻速度高，保证产品较佳的加工质量。

主权项

一种蚀刻电极装置，其特征在于，包括：至少一个电极本体，所述电极本体的内部设有冷却通道，所述冷却通道包括入水口和出水口；支撑框体，所述电极本体设于所述支撑框体内，所述支撑框体设有至少一个第一安装孔和至少一个第二安装孔；输液机构，所述输液机构包括第一输液组件和第二输液组件，所述第一输液组件穿设于所述第一安装孔、并与所述入水口连通，所述第二输液组件穿设于所述第二安装孔、并与所述出水口连通；及冷却液供给装置，所述冷却液供给装置与所述第一输液组件、所述第二输液组件管路连接。