[发明专利]一种空气静压主轴的回转误差测量装置有效
| 申请号： | 201710012177.7 | 申请日： | 2017-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN106556367B | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 雷大江;蓝河;钱林弘;崔海龙;张连新;王宝瑞;阳红;夏欢;陈一;郑越青 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
| 主分类号： | G01B21/00 | 分类号： | G01B21/00 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人： | 翟长明;韩志英 |
| 地址： | 621999 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种空气静压主轴的回转误差测量装置，所述装置的左右差分螺纹机构、前后差分螺纹机构、上下差分螺纹机构用于确保标准球赤道线与非接触式位移传感器的距离在70μm~80μm；标准球安装座用于实现标准球与空气静压主轴回转轴线亚微米级的偏心调整；传感器安装支架用于实现反向测量前与反向测量后非接触式位移传感器的180°旋转定位；分度盘用于实现反向测量前与反向测量后标准球的180°旋转定位；圆光栅和读数头用于实现反向前和反向后测量数据中各采样点所对应的角度严格对等。本发明的空气静压主轴的回转误差测量装置能够准确分离空气静压主轴回转误差和标准球圆度误差，提高空气静压主轴回转误差的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空气 静压 主轴 回转 误差 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种空气静压主轴的回转误差测量装置，其特征在于，所述的测量装置包括气浮隔振平台（1）、主轴安装支架（2）、空气静压主轴（3）、传感测量装置（4）、移动导轨（5）、驱动电机（6）；其连接关系是：气浮隔振平台（1）放置在隔振地基上；主轴安装支架（2）固定连接于气浮隔振平台（1）上；空气静压主轴（3）固定连接于主轴安装支架（2）上；移动导轨（5）固定连接于气浮隔振平台（1）上；传感测量装置（4）固定连接于移动导轨（5）上，移动导轨（5）驱动传感测量装置（4）进行上下移动；驱动电机（6）固定连接于气浮隔振平台（1），驱动电机（6）驱动空气静压主轴（3）进行回转运动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，未经中国工程物理研究院机械制造工艺研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710012177.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种应用于温室的相变储能装置
- 下一篇：具有自我学习环诊断的过程变量变送器
