[发明专利]一种TFT玻璃基板薄化工艺预处理液有效
申请号: | 201710012999.5 | 申请日: | 2017-01-09 |
公开(公告)号: | CN106630659B | 公开(公告)日: | 2019-09-20 |
发明(设计)人: | 张杰;沈励;郑建军;姚仕军;夏伟;吴青肖 | 申请(专利权)人: | 天津美泰真空技术有限公司 |
主分类号: | C03C15/00 | 分类号: | C03C15/00 |
代理公司: | 天津合志慧知识产权代理事务所(普通合伙) 12219 | 代理人: | 陈松 |
地址: | 300000 *** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 一种TFT玻璃基板薄化工艺预处理液,其特征在于所述预处理液由以下成分组成:质量百分比含量10~20%的盐酸(HCl),质量百分比含量2%~5%的氢氟酸(HF),质量百分比含量5~10%的聚乙烯醇(PVA),质量百分比含量0.5~1%的聚二甲基硅氧烷,质量百分含量1‑2%的羟丙基‑β‑环糊精及余量的水。 | ||
搜索关键词: | 一种 tft 玻璃 基板薄 化工 预处理 | ||
【主权项】:
1.一种TFT玻璃基板薄化工艺预处理液,其特征在于所述预处理液由以下成分组成:质量百分比10%的盐酸,质量百分比2%的氢氟酸,质量百分比5%的PVA,质量百分比0.5%的聚二甲硅氧烷,质量百分比1%的羟丙基‑β‑环糊精及余量的水;所述预处理液的配制方法为:1)将处方量盐酸与氢氟酸混合,并加入适量水稀释2)将处方量的羟丙基‑β‑环糊精溶于适量水中至完全溶解,然后加入;3)将处方量PVA溶于适量水中至完全溶解4)将步骤2)、3)得到的溶液混合,然后将步骤1)得到的混合液缓慢加入,加入处方量聚二甲基硅氧烷,补足处方量的水并搅拌至成为均一溶液。
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