[发明专利]液体喷出头、液体喷出设备及制造方法有效
| 申请号： | 201710014595.X | 申请日： | 2017-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN107031189B | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | 奥岛真吾;青木孝纲;刈田诚一郎;永井议靖;佐藤环树;石川哲史;富永康亮;大塚学;岩永周三;森达郎;山田和弘;山本辉;为永善太郎;斋藤昭男 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16;B41J2/14 |
| 代理公司： | 北京魏启学律师事务所 11398 | 代理人： | 魏启学 |
| 地址： | 日本东京都大*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种能够抑制压力室的压力变化的液体喷出头、液体喷出设备及制造方法。因此，在晶圆状的元件基板上形成盖构件，将该元件基板切割成芯片以制造打印元件基板。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 喷出 设备 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种液体喷出头的制造方法，所述液体喷出头包括元件基板，所述元件基板包括：喷出液体的喷出口、被设置为与所述喷出口对应并产生用于从所述喷出口喷出液体的能量的元件以及内部设置该元件的压力室，其特征在于，所述方法包括：制备在元件基板的设置有所述喷出口的面的背面处设置有将液体供给到所述压力室的供给路径的所述元件基板；在设置有所述供给路径的所述元件基板的背面设置膜状的盖构件以覆盖所述供给路径；以及在所述盖构件处形成与所述供给路径连通的多个供给开口。
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