[发明专利]快速三维探测光学元件亚表面缺陷的检测装置及检测方法

摘要

本发明公开了一种快速三维探测光学元件亚表面缺陷的检测装置及检测方法，装置包括水平的样品台和计算机，所述样品台连接高精度三维电动移动平台和压电陶瓷z向平移台，并能分别由二者驱动其运动，所述样品台内设有光学元件的样品；样品台下方设有激光器、图像采集单元，上方设有一共聚焦成像系统。本发明利用一束连续强激光辐照光学元件，元件亚表面缺陷容易受激光激发产生荧光，用高倍率荧光显微成像系统可实现荧光缺陷的二维扫描，获得元件亚表面缺陷的二维分布情况；定位荧光缺陷的位置，利用荧光共聚焦成像系统进行深度扫描，获得光学元件亚表面缺陷的深度分布情况，从而可以实现熔石英元件亚表面缺陷的快速三维测试。

主权项

一种快速三维探测光学元件亚表面缺陷的检测装置，其特征在于：包括水平的样品台和计算机，所述样品台连接高精度三维电动移动平台和压电陶瓷z向平移台，并能分别由二者驱动其运动，所述样品台内设有光学元件的样品；样品背面设有激光器和图像采集单元，正面设有共聚焦成像系统，激光经激光器发出后，依次经光束控制系统、高反射镜单元后投射在样品正面；所述图像采集单元包括依次连接的CCD、高通滤波器和成像镜头，所述成像镜头正对样品上激光的投射处，用于采集激光投射在样品上激发的荧光图像，经高通滤波器滤波后成像到CCD；所述共聚焦成像系统也正对样品上激光的投射处，用于采集样品表面经激光照射后产生的具有深度信息的荧光信号；所述图像采集单元、共聚焦成像系统、高精度三维电动移动平台和压电陶瓷z向平移台均与计算机连接，所述计算机获取图像采集单元的图像信号，以及共聚焦成像系统采集的带深度信息的荧光信号进行处理，并控制高精度三维电动移动平台和压电陶瓷z向平移台运动。