[发明专利]一种涂布机橡皮擦清洗单元和方法以及涂布机在审
| 申请号： | 201710017743.3 | 申请日： | 2017-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN106647186A | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 汪杰;陈聪文 | 申请（专利权）人： | 东旭（昆山）显示材料有限公司;东旭集团有限公司;东旭科技集团有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司11283 | 代理人： | 严政,刘依云 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州市昆山市开*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及光阻涂布领域，具体提供了一种涂布机橡皮擦清洗单元和方法以及涂布机。所述涂布机橡皮擦清洗单元包括清洗台以及设置在所述清洗台上方且喷嘴朝向所述清洗台方向的喷头，其中，所述喷头的喷嘴形状为正多边形，且所述正多边形的边数为5‑8。本发明通过将涂布机橡皮擦清洗单元的喷嘴形状设置成边数为5‑8的正多边形，以加强对橡皮擦进行清洗的力度，清洗效果极为优异，具体表现在能够缩短清洗时间和/或减少清洗剂的用量，极具工业应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 涂布机 橡皮擦 清洗 单元 方法 以及 | ||
【主权项】：
一种涂布机橡皮擦清洗单元，该涂布机橡皮擦清洗单元包括清洗台以及设置在所述清洗台上方且喷嘴朝向所述清洗台方向的喷头，其特征在于，所述喷头的喷嘴形状为正多边形，且所述正多边形的边数为5‑8。
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