[发明专利]一种微纳米划痕仪及其应用方法

摘要

本发明公开的一种微纳米划痕仪，包括有由底座和垂直固定于底座上的立柱构成的支撑机构，在立柱的一个侧壁上设置有Z轴大行程调节装置，在Z轴大行程调节装置上分别设置有Z轴小行程调节装置、刀具驱动装置；Z轴小行程调节装置上连接有刀具夹持装置，且刀具夹持装置与刀具驱动装置连接；在底座上且靠近立柱设置有Z轴大行程调节装置的侧壁处设置有精密调节平台，精密调节平台上设置有工件夹持装置，底座上还设置有显微观察装置。本发明还公开了该微纳米划痕仪的应用方法。本发明的微纳米划痕仪及应用方法具有操作简单、稳定性好及成本较低的优点。

主权项

1.一种微纳米划痕仪，其特征在于，包括有由底座(1)和垂直固定于底座(1)上的立柱(13)构成的支撑机构，在所述立柱(13)的一个侧壁上设置有Z轴大行程调节装置，在所述Z轴大行程调节装置上分别连接有Z轴小行程调节装置、刀具驱动装置；所述Z轴小行程调节装置上连接有刀具夹持装置，且所述刀具夹持装置与刀具驱动装置连接；在所述底座(1)上且靠近立柱(13)处设置有Z轴大行程调节装置的侧壁处设置有精密调节平台，所述精密调节平台上设置有工件夹持装置，所述底座(1)上还设置有显微观察装置；所述精密调节平台，包括有设置于底座(1)上的X向微进给装置(2)，所述X向微进给装置(2)通过连接板Ⅰ(3)与设置于X向微进给装置(2)上方的Y向微进给装置(4)连接，所述Y向微进给装置(4)与设置于Y向微进给装置(4)上方的调平柔顺机构(6)连接，所述工件夹持装置设置于调平柔顺机构(6)的上表面上；所述X向微进给装置(2)和Y向微进给装置(4)的结构相同，且所述X向微进给装置(2)与Y向微进给装置(4)在空间中平行且呈正交分布；所述X向微进给装置(2)由柔顺调节机构(202)和设置于柔顺调节机构(202)上的位移驱动装置(201)、复位弹簧Ⅰ(203)及固定螺栓(204)构成；所述柔顺调节机构(202)，包括有基座(202a)、运动平台(202b)及柔性铰链(202c)，且所述基座(202a)固定于底座(1)上，所述运动平台(202b)通过四组对称分布的柔性铰链(202c)连接于基座(202a)内，所述位移驱动装置(201)设置于柔顺调节机构(202)一侧壁外表面的中央，所述复位弹簧Ⅰ(203)和固定螺栓(204)均设置于柔顺调节机构(202)的另一侧壁上，且所述复位弹簧Ⅰ(203)位于该侧壁内表面的中央，所述固定螺栓(204)位于该侧壁外表面的中央，使位移驱动装置(201)与复位弹簧Ⅰ(203)、固定螺栓(204)相对设置，所述位移驱动装置(201)、复位弹簧Ⅰ(203)及固定螺栓(204)位于柔顺调节机构(202)的水平中轴线上。