[发明专利]一种基于MEMS终端式微波功率传感器结构的湿度传感器

摘要

本发明提供了一种基于MEMS终端式微波功率传感器结构的湿度传感器，其特征在于，该湿度传感器包括终端式微波功率传感器(1)和湿度敏感材料聚酰亚胺(2)；其中，终端式微波功率传感器(1)包括并联的第一匹配电阻(1a1)和第二匹配电阻(1a2)、共面波导信号线(1b1)、与共面波导信号线(1b1)相距一定距离且相对设置的第一共面波导地线(1b2)、与共面波导信号线(1b1)相距一定距离且相对设置的第二共面波导地线(1b3)。本发明实现湿度的测量。

主权项

1.一种基于MEMS终端式微波功率传感器结构的湿度传感器，其特征在于，该湿度传感器包括终端式微波功率传感器(1)和湿度敏感材料聚酰亚胺(2)；其中，终端式微波功率传感器(1)包括并联的第一匹配电阻(1a1)和第二匹配电阻(1a2)、共面波导信号线(1b1)、与共面波导信号线(1b1)相距一定距离且相对设置的第一共面波导地线(1b2)、与共面波导信号线(1b1)相距一定距离且相对设置的第二共面波导地线(1b3)、设置在共面波导信号线(1b1)相对的位置且与其相距一定距离的热电堆(1d)；第一共面波导地线(1b2)和第二共面波导地线(1b3)分别布置在共面波导信号线(1b1)两侧，第一匹配电阻(1a1)设在共面波导信号线(1b1)和第一共面波导地线(1b2)之间，第二匹配电阻(1a2)设置在共面波导信号线(1b1)和第二共面波导地线(1b3)之间；在第一匹配电阻(1a1)和第二匹配电阻(1a2)上涂覆一层湿度敏感材料聚酰亚胺(2)；当空气湿度发生变化时，终端式微波功率传感器的第一匹配电阻(1a1)和第二匹配电阻(1a2)上涂覆的湿度敏感材料聚酰亚胺(2)吸收空气中的水汽分子，其介电常数发生变化，从而使得在共面波导的终端阻抗发生变化产生失配，导致一部分微波功率发生反射。