[发明专利]反馈晶体生长状态的方法、晶体生长控制方法及控制系统有效
| 申请号： | 201710025411.X | 申请日： | 2017-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN106801250B | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 朱允中;王彪;林少鹏;马德才 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | C30B15/22 | 分类号： | C30B15/22 |
| 代理公司： | 广州骏思知识产权代理有限公司 44425 | 代理人： | 吴静芝 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种反馈晶体生长状态的方法，通过采集晶体生长过程中的晶体和熔体间的界面相电动势，获得实时变化的电信号，由所述实时变化的电信号反馈晶体生长状态。本发明还涉及一种晶体生长控制方法，通过采集晶体生长过程中的晶体和熔体间的界面相电动势，获得实时变化的电信号，根据所述实时变化的电信号调整晶体生长的条件参数，从而控制晶体生长。本发明还涉及一种晶体生长控制系统，包括晶体生长控制装置、生长信号采集单元和信号处理单元。通过本发明的方法可以精确反馈晶体生长的整体状态，克服判断滞后的缺陷，实时控制晶体生长工作。 | ||
| 搜索关键词： | 反馈 晶体生长 状态 方法 控制 控制系统 | ||
【主权项】：
1.一种反馈晶体生长状态的方法，其特征在于：从盛放晶体原料的坩埚和安放籽晶的籽晶杆分别引出电极，在提拉生长晶体的过程中，采集晶体生长过程中的晶体和熔体间的界面相电动势，以获得实时变化的电信号，由所述实时变化的电信号反馈晶体生长状态；在下晶阶段，获得所述电信号从断开状态变为稳定状态的过程，以反馈晶体生长界面的形成过程；在放肩阶段，获得所述电信号增长，以反馈晶体直径增长的过程；在等径阶段，获得所述电信号增长率的变化，以反馈晶体直径的变化；在收尾阶段，获得所述电信号增长率变缓，以反馈晶体生长速度减小；在拉脱阶段，获得所述电信号变为断开状态，以反馈晶体生长完毕。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中山大学，未经中山大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710025411.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
