[发明专利]泵装置和具有泵装置的颗粒探测器

摘要

本发明涉及一种泵装置，尤其用于气态介质的泵装置。为此，在基底上设有薄膜，所述薄膜在该薄膜的边缘区域中与所述基底连接。通过基底上的磁装置与薄膜上的磁装置的相互作用，可使基底上的薄膜抬起或下降。由此引发泵送运动。

主权项

用于气态介质的泵装置(1)，具有：基底(10)；薄膜(20)，所述薄膜布置在所述基底(10)上，其中，所述薄膜(20)的边缘区域与所述基底(10)连接，其中，在所述基底(10)和所述薄膜(20)之间围成一个容积；开口(50)，所述开口布置在由基底(10)和薄膜(20)围成的所述容积的内部空间(I)和外部空间(A)之间；第一磁装置(30)，所述第一磁装置与所述基底(10)耦合，并且所述第一磁装置设计用于提供第一磁场；以及第二磁装置(40)，所述第二磁装置与所述薄膜(20)耦合，并且所述第二磁装置设计用于提供第二磁场，所述第二磁场与所述第一磁场形成相互作用；其中，所述第一磁装置(30)和/或所述第二磁装置(40)包括电线圈(32，42)。