[发明专利]实现超宽带激发表面等离子体波导模式的蝴蝶结形天线

摘要

本发明涉及一种实现超宽带激发表面等离子体波导模式的天线结构，包括上下结构的二氧化硅基底层和银层，银层通过磁控溅射镀膜机沉积在低折射率的二氧化硅表面，银层为一拍子形状，拍面为一矩形，手柄为等宽带状，形成一个带状的条形波导；用聚焦离子束刻蚀出两个顶点正对的等腰三角形构成蝴蝶结形天线结构，聚焦的高斯光束垂直照射在蝴蝶型天线结构上，从而激发表面等离子体。本发明解决了现有技术中表面等离子低效激发的问题，激发光涵盖了大部分可见光波段，一直到近红外范围。其独特的宽带特性，将在下一代等离子集成芯片和功能器件中大量应用。

主权项

一种实现超宽带激发表面等离子体波导模式的蝴蝶结形天线，其特征在于，包括上下结构的基底层和金属层，基底层材料为低折射率的二氧化硅，金属层材料为银，银层通过磁控溅射镀膜机沉积在低折射率的二氧化硅表面，银层为一拍子形状，拍面为一矩形，手柄为等宽带状，形成一个带状的条形波导；用聚焦离子束在矩形上以带状手柄中心线对称刻蚀两个相同的等腰三角形，等腰三角形深度为银层的厚度，刻蚀后，通过等腰三角形可直视到二氧化硅层，等腰三角形顶角正对，形成蝴蝶结形天线结构，两个等腰三角形顶角的间距为w1，两个等腰三角形构成蝴蝶结形天线，两个等腰三角形顶角的间距w1称为蝴蝶结形狭缝，两个等腰三角形的高度为L，蝴蝶结天线顶角的角度为θ，聚焦的高斯光束垂直照射在蝴蝶结形天线结构上，从而激发表面等离子体。