[发明专利]一种涂胶系统及其涂胶修复方法

摘要

本文公开了一种涂胶系统及其涂胶修复方法，涂胶系统，包括：用于对固定在安装台上的基板进行涂胶的涂胶单元；用于对基板的涂胶进行检测的检测单元；用于对检测单元检测到的基板上的不合格涂胶进行除胶的清洁单元；用于对除胶后的清除涂胶区域进行涂胶修复的修复单元；驱动单元，检测单元、清洁单元和修复单元安装在驱动单元上，驱动单元用于驱动检测单元、清洁单元和修复单元移动；控制单元，与涂胶单元、检测单元、清洁单元、修复单元和驱动单元连接。本文提供的涂胶系统，在涂胶基板时可缩短不良的涂胶基板的修复时间，提高生产效率。

主权项

1.一种涂胶系统，其特征在于，包括：用于对固定在安装台上的基板进行涂胶的涂胶单元；用于对基板的涂胶进行检测的检测单元；用于对检测单元检测到的基板上的不合格涂胶进行除胶的清洁单元；用于对除胶后的清除涂胶区域进行涂胶修复的修复单元；驱动单元，所述检测单元、所述清洁单元和所述修复单元安装在所述驱动单元上，所述驱动单元用于驱动所述检测单元、所述清洁单元和所述修复单元移动；控制单元，与所述涂胶单元、所述检测单元、所述清洁单元、所述修复单元和所述驱动单元连接，用于控制所述涂胶单元对固定在安装台上的基板进行涂胶，所述检测单元对基板上的涂胶进行检测，在检测到存在不合格涂胶时，所述清洁单元清除基板上不合格涂胶区域的涂胶，所述修复单元对基板上清除涂胶区域进行涂胶修复；所述驱动单元包括：第一驱动机构；第二驱动机构、第三驱动机构和第四驱动机构，均安装在所述第一驱动机构上，所述检测单元、所述清洁单元和所述修复单元对应安装在所述第二驱动机构、所述第三驱动机构和所述第四驱动机构上；所述第一驱动机构可带动所述第二驱动机构、所述第三驱动机构、所述第四驱动机构、所述检测单元、所述清洁单元和所述修复单元一起沿所述基板的纵向移动，所述第二驱动机构、所述第三驱动机构和所述第四驱动机构可对应带动所述检测单元、所述清洁单元和所述修复单元沿所述基板的横向移动。