[发明专利]一种过渡金属氮化物超级电容器涂层材料的制备方法有效

专利信息
申请号: 201710027811.4 申请日: 2017-01-16
公开(公告)号: CN106835042B 公开(公告)日: 2019-02-22
发明(设计)人: 王周成;魏斌斌;张东方 申请(专利权)人: 厦门大学
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/06;H01G11/86
代理公司: 厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 代理人: 马应森
地址: 361005 *** 国省代码: 福建;35
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摘要: 一种过渡金属氮化物超级电容器涂层材料的制备方法,涉及超级电容器。以不同的沉积压力反应磁控溅射过渡金属氮化物超级电容器涂层材料。所述不同的沉积压力为1.0~5.0Pa;所述过渡金属氮化物为ZrN、HfN、NbN。通过调控薄膜沉积过程中的沉积压力,过渡金属氮化物可获得最大比电容值分别为12.0、13.5和10.2mF/cm2,且经过20000次循环后容量保持率均高达90%以上。
搜索关键词: 一种 过渡 金属 氮化物 超级 电容器 涂层 材料 制备 方法
【主权项】:
1.一种过渡金属氮化物超级电容器涂层材料的制备方法,其特征在于其具体步骤为:以不同的沉积压力反应磁控溅射过渡金属氮化物超级电容器涂层材料,具体方法如下:将腔体环境温度加热至185℃,将沉积腔室本底抽真空,当腔室压力≤4.5×10‑5Pa后,通入Ar,流量设定为45sccm,调节沉积腔室内环境压力至1.1Pa,将Zr、Hf或Nb金属靶材功率调节至200W,溅射10min,溅射完成之后,维持腔体温度为185℃,加热基体至325℃,再通入N2,调节流量,使得Ar与N2总流量为65sccm,N2分压为0.3Pa,分别调节腔室环境压力为1.0Pa、2.0Pa、3.0Pa、4.0Pa、5.0Pa,转动样品台,使基体正对Zr、Hf或Nb金属靶材,且与靶材的距离为100mm,将Zr、Hf或Nb靶直流溅射功率升至90W,3min后升至250W,打开靶材挡板,在此功率条件下溅射沉积25min,沉积过程中基体加载负偏压,大小为‑70V。
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