[发明专利]一种金色及玫瑰金色氮化物涂层的制备方法有效
| 申请号： | 201710027850.4 | 申请日： | 2017-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN106676471B | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 王周成;吴正涛;魏斌斌;张东方 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/02;C23C14/34 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 | 代理人： | 马应森 |
| 地址： | 361005 *** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种金色及玫瑰金色氮化物涂层的制备方法，涉及氮化物涂层。在铝合金及钛合金基体表面沉积金属Zr过渡层；反应溅射沉积金色(Zr,Al)N涂层；反应溅射沉积玫瑰金色(Zr,Si)N涂层。在经过离子源轰击清洗的铝合金及钛合金基体表面，沉积含0～15at.％Al的(Zr,Al)N涂层，可得到结构均匀的金色氮化物涂层，涂层颜色L*值为81.4～89.3，a*值为3.8～6.1，b*值为10.3～18.1；沉积含0～16.4at.％Si的(Zr,Si)N涂层，可得到结构均匀的玫瑰金色氮化物涂层，涂层颜色L*值为73.4～83.7，a*值为8.8～12.9，b*值为‑0.3～21.1。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金色 玫瑰 氮化物 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种金色及玫瑰金色氮化物涂层的制备方法，其特征在于包括以下步骤：1)首先在铝合金及钛合金基体表面沉积金属Zr过渡层；2)反应溅射沉积金色(Zr,Al)N涂层；3)反应溅射沉积玫瑰金色(Zr,Si)N涂层，将腔体环境温度加热至150～200℃，加热基体至200～300℃，此时通入N2，控制N2分压比为15％～30％，腔室环境压力固定为0.2～0.6Pa；转动样品台，使基体正对金属Zr靶材，分别将Zr靶接入直流溅射电源及将Si靶接入射频电源，反应溅射沉积(Zr,Si)N涂层；控制(Zr,Si)N涂层中Si含量为0～16.4at.％，且控制膜层厚度为1～5μm，涂层颜色L*值为73.4～83.7，a*值为8.8～12.9，b*值为‑0.3～21.1。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于厦门大学，未经厦门大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710027850.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
