[发明专利]一种基于MEMS在线式微波功率传感器结构的压力传感器

摘要

本发明提供了一种基于MEMS(微机电系统)在线式微波功率传感器结构的压力传感器，该压力传感器包括感知压力的腔体薄膜(1)和在线式微波功率传感器结构(2)；其中，在线式微波功率传感器结构(2)包括MEMS膜桥(2c)、第一终端式微波功率传感器结构(2a)、与第一终端式微波功率传感器结构(2a)沿MEMS膜桥(2c)中心线对称设置的第二终端式微波功率传感器结构(2b)、设置在腔体薄膜(1)上表面且设置在MEMS膜桥(2c)下方的总共面波导信号线(2d1)、总共面波导地线(2d2)和总共面波导地线(2d3)。该发明可以实现压力的测量。

主权项

1.一种基于MEMS在线式微波功率传感器结构的压力传感器，该压力传感器包括感知压力的腔体薄膜(1)和设置在腔体薄膜(1)上表面的在线式微波功率传感器结构(2)；其中，在线式微波功率传感器结构(2)包括MEMS膜桥(2c)、第一终端式微波功率传感器结构(2a)、与第一终端式微波功率传感器结构(2a)沿MEMS膜桥(2c)中心线对称设置的第二终端式微波功率传感器结构(2b)、设置在腔体薄膜(1)上表面且设置在MEMS膜桥(2c)下方的第一总共面波导信号线(2d1)、第二总共面波导地线(2d2)和第三总共面波导地线(2d3)；MEMS膜桥(2c)跨接在第一终端式微波功率传感器结构(2a)和第二终端式微波功率传感器结构(2b)之间；第一终端式微波功率传感器结构(2a)包括第一共面波导信号线(2a1)、第一共面波导地线(2a2)、第二共面波导地线(2a3)、第一电阻(2a4)、第二电阻(2a5)和第一热电堆(2a6)；第一共面波导地线(2a2)和第二共面波导地线(2a3)分别设置在第一共面波导信号线(2a1)两侧且相距一定距离；第一电阻(2a4)布置在第一共面波导信号线(2a1)和第一共面波导地线(2a2)之间，第二电阻(2a5)布置在第一共面波导信号线(2a1)和第二共面波导地线(2a3)之间，第一热电堆(2a6)设置在第一共面波导信号线(2a1)相对的位置且与其相距一定距离；第二终端式微波功率传感器结构(2b)包括第二共面波导信号线(2b1)、第三共面波导地线(2b2)、第四共面波导地线(2b3)、第三电阻(2b4)、第四电阻(2b5)和第二热电堆(2b6)；第三共面波导地线(2b2)和第四共面波导地线(2b3)分别设置在第二共面波导信号线(2b1)两侧且相距一定距离；第三电阻(2b4)布置在第二共面波导信号线(2b1)和第三共面波导地线(2b2)之间，第四电阻(2b5)布置在第二共面波导信号线(2b1)和第四共面波导地线(2b3)之间，第二热电堆(2b6)设置在第二共面波导信号线(2b1)相对的位置且与其相距一定距离；第一总共面波导信号线(2d1)和MEMS膜桥(2c)构成耦合电容结构；当压力发生变化时，造成腔体薄膜(1)发生形变，使第一总共面波导信号线(2d1)与MEMS膜桥(2c)之间的距离发生改变，从而使得第一总共面波导信号线(2d1)和MEMS膜桥(2c)构成的耦合电容发生变化。