[发明专利]一种基于MEMS终端式微波功率传感器结构的压力传感器

摘要

本发明提供了一种基于MEMS终端式微波功率传感器结构的压力传感器，该压力传感器包括感知压力的腔体薄膜(1)和设置在腔体薄膜(1)表面的终端式微波功率传感器(2)；其中，终端式微波功率传感器(2)包括并联的第一匹配电阻(2a1)、第二匹配电阻(2a2)、共面波导信号线(2b1)、第一共面波导地线(2b2)、第二共面波导地线(2b3)和热电堆(2c)；第一共面波导地线(2b2)和第二共面波导地线(2b3)分别设置在共面波导信号线(2b1)两侧且相距一定距离。本发明可以实现压力的测量。

主权项

1.一种基于MEMS终端式微波功率传感器结构的压力传感器，其特征在于，该压力传感器包括感知压力的腔体薄膜(1)和设置在所述腔体薄膜(1)表面的终端式微波功率传感器(2)；其中，所述终端式微波功率传感器(2)包括并联的第一匹配电阻(2a1)、第二匹配电阻(2a2)、共面波导信号线(2b1)、第一共面波导地线(2b2)、第二共面波导地线(2b3)和热电堆(2c)；所述第一共面波导地线(2b2)和所述第二共面波导地线(2b3)分别设置在所述共面波导信号线(2b1)两侧且相距一定距离；所述第一匹配电阻(2a1)布置在所述共面波导信号线(2b1)和所述第一共面波导地线(2b2)之间，所述第二匹配电阻(2a2)布置在所述共面波导信号线(2b1)和所述第二共面波导地线(2b3)之间；所述热电堆(2c)设置在所述共面波导信号线(2b1)相对的位置且与其相距一定距离；当外界压力发生变化时，造成腔体薄膜发生形变，导致薄膜内应力改变，由于压阻效应改变了匹配电阻的阻值，而这会产生失配，从而导致一部分微波功率发生反射，最终使得热电堆输出的热电势发生改变，从而实现压力的测量。