[发明专利]氧化锆基片的流延生产设备

摘要

本发明公开了氧化锆基片的流延生产设备，其特征在于工作平台的表面铺设不锈钢板材料的流延承载板，放卷机构所放卷的膜带在水平经过工作平台的表面后由收卷机构进行收卷，工作平台在靠近放卷机构的一端设有流延装置，工作平台的上方设有多个干燥室，多个干燥室相互相通并在工作平台的上方形成封闭干燥空间，封闭干燥空间内在前端位置设有第一排气管、在中间位置设有第二排气管，干燥室内设有玻璃挡板，玻璃挡板对从干燥室内通过的所述膜带进行上遮挡，玻璃挡板在横向方向上与水平呈倾斜设置，所述流延承载板的底部安装带热电偶的电阻丝加热器。本发明可满足氧化锆基片的高效高质生产，所生产的氧化锆基片不开裂、表面平整、厚度均匀。

主权项

氧化锆基片的流延生产设备，其特征在于：包括工作平台和设于工作平台前后端的放卷、收卷机构，工作平台的表面铺设不锈钢板材料的流延承载板，放卷机构所放卷的膜带在水平经过工作平台的表面后由收卷机构进行收卷，工作平台在靠近放卷机构的一端设有流延装置，工作平台的上方沿前后方向设有多个干燥室，多个干燥室相互相通并在工作平台的上方形成封闭干燥空间，封闭干燥空间内在前端位置设有第一排气管、在中间位置设有第二排气管，第一、第二排气管的排气进口朝上，第一、第二排气管的排气出口与抽风风机相通，干燥室内设有玻璃挡板，玻璃挡板离开工作平台表面的高度距离不超过5cm，玻璃挡板对从干燥室内通过的所述膜带进行上遮挡，玻璃挡板在横向方向上与水平呈倾斜设置，所述流延承载板的底部安装带热电偶的电阻丝加热器，不同干燥室具有不同加热温度控制。