[发明专利]石英容器镀覆碳膜的方法

摘要

本发明提供了一种石英容器镀覆碳膜的方法，该方法通过采用抽真空与充氮气的操作，排尽镀碳室内的空气，再向封闭的充有一定压力高纯氮气的镀碳室中，充入甲烷气体，使其高温裂解、沉积镀碳，得到的镀碳膜厚度均匀，质量好。本发明提供的方法，降低了对真空设备的要求，减少设备投资，避免高纯氮气的浪费，同时消除安全隐患，整个镀碳过程，操作简单，安全经济。

主权项

1.一种石英容器镀覆碳膜的方法，先将石英容器预处理后，再进行镀碳，其特征在于：包含以下步骤：S1：将预处理后的石英容器置于镀碳设备的镀碳室中，抽真空，至镀碳室内压力低于30Pa，加热镀碳室，至温度为1000℃~1100℃；S2：在1000℃~1100℃的温度条件下，向镀碳室内通入高纯氮气，再抽真空至镀碳室内压力低于30Pa，再重复操作一次以上；S3：往镀碳室内通入高纯氮气，至镀碳室内的压力为500~3000Pa，停止通入高纯氮气，开始以10~20mL/min的流量通入甲烷气体，通入时间为40~60 min；S4：停止通入甲烷气体，保温，然后冷却至室温，通入高纯氮气至常压，取出镀覆碳膜的石英容器。