[发明专利]发光器件衬底及其制备方法、发光器件在审

专利信息
申请号: 201710030972.9 申请日: 2017-01-17
公开(公告)号: CN106684217A 公开(公告)日: 2017-05-17
发明(设计)人: 张滔;向超宇;李乐;辛征航;张东华 申请(专利权)人: TCL集团股份有限公司
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00;H01L33/48;H01L33/58;H01L51/52;H01L51/56
代理公司: 深圳中一专利商标事务所44237 代理人: 黄志云
地址: 516006 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供了一种发光器件衬底及其制备方法。所述发光器件衬底包括玻璃基板,设置在所述玻璃基板一表面的光散射层,以及覆盖所述光散射层的平坦层,其中,所述光散射层具有随机微纳结构。所述发光器件衬底的制备方法,包括以下步骤:提供一玻璃基板;在所述玻璃基板上依次沉积光散射材料层、金属薄膜,对所述金属薄膜进行快速热处理,形成具有随机微纳结构的金属掩膜层;以所述金属掩膜层作为掩膜板,对所述光散射材料层进行刻蚀处理,去除所述金属掩膜层后形成具有随机微纳结构的光散射层;在所述光散射层上沉积平坦层。
搜索关键词: 发光 器件 衬底 及其 制备 方法
【主权项】:
一种发光器件衬底,其特征在于,包括玻璃基板,设置在所述玻璃基板一表面的光散射层,以及覆盖所述光散射层的平坦层,其中,所述光散射层具有随机微纳结构。
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