[发明专利]一种多晶硅底板专用石墨的生产工艺

摘要

本发明涉及一种多晶硅底板专用石墨的生产工艺，所述的生产工艺包括制备原料、混合脱水、沥青制备、预混、轧制薄片、研磨、压模成型、一次焙烧、一次浸渍、二次焙烧、二次浸渍、三次焙烧、三次浸渍、石墨化的步骤，经过该种工艺制备的专用石墨具有减低工人的劳动强度、提高产品使用寿命、降低生产成本的优点。

主权项

一种多晶硅底板专用石墨的生产工艺，其特征在于：所述的生产工艺包括如下步骤：步骤1：制备原料：将沥青焦、石油焦经过5R摆式磨粉机分别进行破碎，沥青焦、石油焦原料颗粒度通过325目筛，筛余5%‑10%；步骤2：混合脱水：将步骤1中得到的沥青焦、石油焦颗粒按照质量比为3：7加入到搅拌机混合均匀，然后将混合物加热到120‑125℃，并保持40分钟进行加热脱水；步骤3：沥青制备：选用改质沥青经过熬煮静置不小于100小时，并且将温度控制在160‑165℃下制备沥青；步骤4：预混：选用步骤3中制备的沥青和步骤2得到的混合料，所述的混合料与沥青的质量之比为40%‑41%，将混合料和沥青将如到搅拌设备中混合，控制混合温度在173‑178℃，混合时间为60min；步骤5：轧制薄片：将步骤4中制备的混合物放入到炼塑机中，通过炼塑机扎制成薄片，所述的薄片的厚度为2‑2.5mm，将扎制薄片在温度50‑60℃情况下存放48小时；步骤6：研磨：将步骤5制备的薄片放入到5R摆式磨粉机制得粉末，并使粉末通过200目筛，筛余不大于20%‑25%；步骤7：压模成型：将步骤6中制备的粉末装入到成型模具中，使的压模密度达到1.45‑1.46g/cm3，并且在室内放置不少于48小时；步骤8：一次焙烧：将步骤7中压制成型的混合物装炉焙烧，使得炉内温度快速达到350℃，然后改为均匀升温每8小时5℃，升温至520℃保持24小时，再次均匀升温每8小时27℃升温至1250℃，在高温1250℃阶段维持48小时关火，然后将焙烧后的混合物冷却240小时且炉内温度低于90℃时出炉；步骤9：一次浸渍：将完成一次焙烧后的混合物浸渍在中温煤沥青中，并以 50℃ ‑60℃ /h 的温升速度加热至 300‑500 度，抽真空后保压处理，一次浸渍增重率达到18‑19%；步骤10：二次焙烧：将混合物装炉二次焙烧，使得炉内温度快速达到350℃，然后改为均匀升温每8小时5℃，升温至520℃保持24小时，再次均匀升温每8小时27℃升温至1250℃，在高温1250℃阶段维持48小时关火，然后将焙烧后的混合物冷却240小时且炉内温度低于90℃时出炉；步骤11：二次浸渍：将完成二次焙烧后的混合物浸渍在中温煤沥青中，并以 50℃ ‑60℃ /h 的温升速度加热至 300‑500 度，抽真空后保压处理，一次浸渍增重率达到13‑14%；步骤12：三次焙烧：将混合物装炉三次焙烧，使得炉内温度快速达到350℃，然后改为均匀升温每8小时5℃，升温至520℃保持24小时，再次均匀升温每8小时27℃升温至1250℃，在高温1250℃阶段维持48小时关火，然后将焙烧后的混合物冷却240小时且炉内温度低于90℃时出炉；步骤13：三次浸渍：将完成三次焙烧后的混合物浸渍在中温煤沥青中，抽真空后保压处理，一次浸渍增重率达到9‑10%；步骤14：石墨化：将步骤13得到的混合物放入到艾奇逊炉内，是产品温度达到2800‑2900℃，使得混合物石墨化。