[发明专利]一种真空系统及控制方法

摘要

本发明提供一种真空系统及控制方法，包括腔室、第一真空泵、第一进气管、控制器和用于检测腔室的真空度的检测装置，控制器与检测装置和第一真空泵相连，第一进气管与腔室相连。利用第一真空泵对腔室抽真空，当真空度检测值大于第一阈值，且第一真空泵的开启时长达到第一时长时，开启第一进气管，通过第一进气管向腔室内吹入第一气体，利用第一气体轰击附着在腔室内壁的水分子和氧分子，破坏水分子和氧分子与腔室内壁间的附着力，使水分子和氧分子从腔室内壁脱落，从而使水分子和氧分子容易被第一真空泵抽出，进而缩短腔室内真空度下降到预设真空度所需的时间，提高生产产能。

主权项

一种真空系统，包括腔室、第一真空泵、控制器和用于检测所述腔室的真空度的检测装置，所述控制器与所述检测装置和所述第一真空泵相连，其特征在于，所述真空系统还包括用于输送第一气体的第一进气管，所述第一进气管与所述腔室相连，所述控制器用于，控制所述第一真空泵开启，接收所述检测装置发送的真空度检测值，并将所述真空度检测值与预设的第一阈值相比较；当所述真空度检测值大于所述第一阈值时，判断所述第一真空泵的开启时长是否达到预设的第一时长，当所述第一真空泵的开启时长达到预设的第一时长时，控制所述第一真空泵待机，并控制所述第一进气管开启。