[发明专利]体声波谐振器及其制造方法有效
| 申请号： | 201710032174.X | 申请日： | 2017-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN107317561B | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 金泰润;李泰京;李文喆;赵成珉;尹湘基 | 申请（专利权）人： | 三星电机株式会社 |
| 主分类号： | H03H3/04 | 分类号： | H03H3/04;H03H9/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 马翠平;刘奕晴 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种体声波谐振器及其制造方法，所述体声波谐振器可包括：空气腔；蚀刻停止层和蚀刻停止部，限定空气腔的下边界表面和侧边界表面；谐振部，形成在通过空气腔的上边界表面和蚀刻停止部的顶表面形成的近似平坦的表面上。蚀刻停止部的顶表面的宽度可比蚀刻停止部的底表面的宽度大。将蚀刻停止部的顶表面和蚀刻停止部的底表面连接的蚀刻停止部的侧表面可以是倾斜的。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种体声波谐振器，包括：空气腔；蚀刻停止层和蚀刻停止部，限定空气腔的下边界表面和侧边界表面；谐振部，形成在通过空气腔的上边界表面和蚀刻停止部的顶表面形成的近似平坦的表面上，其中，蚀刻停止部的顶表面的宽度比蚀刻停止部的底表面的宽度大，其中，将蚀刻停止部的顶表面和蚀刻停止部的底表面连接的蚀刻停止部的侧表面是倾斜的。
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