[发明专利]固态成像装置、制造固态成像装置的方法以及电子设备

摘要

本技术方案旨在提供减少阴影和像素间颜色混合的固态成像装置。本发明还提供制造固态成像装置的方法。本技术方案还涉及固态成像装置，其能提供采用该固态成像装置的电子设备、制造该固态成像装置的方法以及电子设备。该固态成像装置包括：基板；像素，每个像素包括形成在该基板中的光电转换单元；以及形成在基板的光入射面侧上的彩色滤光片层。该固态成像装置还包括装置分离部，其形成为按照各个像素划分该彩色滤光片层和该基板，并且其折射率低于该彩色滤光片层和该基板的折射率。

主权项

一种成像装置，包括：半导体基板，具有作为光入射面侧的第一侧和与该第一侧相对的第二侧；多个像素，每个像素包括形成在该基板中的光电转换单元；以及装置分离部，形成为划分各个像素，该装置分离部包括：固定电荷膜，其布置在所述半导体基板的第一侧处，并且从该第一侧朝向所述半导体基板的第二侧延伸；背面侧绝缘膜，其布置在所述半导体基板的第一侧处，其中，该背面侧绝缘膜的至少一部分直接布置在包括于所述半导体基板中的光电转换单元之上；以及绝缘膜，其中，所述装置分离部延伸到在该半导体基板中的p‑阱区内。