[发明专利]一种两面对准的倒置曝光设备有效
| 申请号： | 201710032580.6 | 申请日： | 2017-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN106814552B | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 傅志伟 | 申请（专利权）人： | 江苏影速科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人： | 彭素琴 |
| 地址： | 221300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种两面对准的倒置曝光设备，属于直写曝光机技术领域。本发明的两面对准的倒置曝光设备，包括支撑结构、曝光装置、对准装置、载样装置和控制装置；所述支撑结构下部为一箱体结构，曝光装置和控制装置位于所述箱体结构内，所述载样装置嵌于箱体结构上表面并位于曝光装置上方；所述支撑结构上部为墙面结构或龙门结构，所述对准装置与支撑结构上部连接且位于载样装置的上方。本发明的装置能够实现对半导体、PCB板等产品双面曝光图像精确对位，不会对板造成永久性的破坏；设备简单，不需要额外添加用于打印或曝光标记图形的设备，节约成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 两面 对准 倒置 曝光 设备 | ||
【主权项】：
1.一种曝光装置在激光直写领域的应用，其特征在于，所述曝光装置包括支撑结构、曝光装置、对准装置、载样装置和控制装置；所述支撑结构下部为一箱体结构，曝光装置和控制装置位于所述箱体结构内，所述载样装置嵌于箱体结构上表面并位于曝光装置上方；所述支撑结构上部为墙面结构或龙门结构，所述对准装置与支撑结构上部连接且位于载样装置的上方。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏影速科技有限公司，未经江苏影速科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710032580.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：镜头校准装置和镜头校准系统
- 下一篇：一种双面式晒版机
