[发明专利]一种基板传送装置及方法

摘要

本发明公开了一种基板传送装置及方法，所述基板传送装置包括：第一导轨，所述第一导轨接地，以释放静电；第二导轨，所述第二导轨接地，以释放静电；第一双辊，位于所述第一导轨上，并与所述第一导轨电性连接；第二双辊，位于所述第二导轨上，并与所述第二导轨电性连接；其中，所述第一导轨与所述第二导轨并排设置，利用所述第一双辊和所述第二双辊将基板固定传送。因此，本发明有效减少了双辊的使用数量，且不再使用导向轮，其简化了结构，降低异常发生概率；另外，双辊与导轨电连接，且导轨做接地处理，因此能及时有效地传导基板上的静电，防止产品静电释放炸伤。

主权项

1.一种基板传送装置，其特征在于，所述基板传送装置是设置在封闭的容纳室内，所述基板传送装置包括：第一导轨，所述第一导轨接地，以释放静电；第二导轨，所述第二导轨接地，以释放静电；第一双辊，位于所述第一导轨上，并与所述第一导轨电性连接；第二双辊，位于所述第二导轨上，并与所述第二导轨电性连接；其中，所述第一导轨与所述第二导轨并排设置，利用所述第一双辊和所述第二双辊将基板固定传送；所述第一导轨与所述第二导轨的间距为所述基板的宽度；所述基板传送装置还包括传送单元用于传送所述基板，所述基板位于所述传送单元上；所述第一双辊和所述第二双辊稳固住所述基板，并随所述基板前进的方向在相应的第一导轨及第二导轨上移动。