[发明专利]热电检测系统与热电检测方法在审
| 申请号： | 201710034720.3 | 申请日： | 2017-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN106771372A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 欧云;谢淑红;邹代峰;赵晋津;付比 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | G01Q60/00 | 分类号： | G01Q60/00 |
| 代理公司： | 深圳国新南方知识产权代理有限公司44374 | 代理人： | 黄建才,李明香 |
| 地址： | 518055 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种热电检测系统与热电检测方法。所述热电检测系统用于检测材料纳米尺度的热电性能，所述热电检测系统包括扫描探针、样品台、加热器件、检测电路和控制器，所述样品台用于承载样品，所述扫描探针用于在探针激励模式下对样品进行加热与检测，所述加热器件用于在非探针激励模式下对样品进行加热，所述扫描探针还用于在非探针激励模式下对样品进行检测，所述检测电路用于侦测所述扫描探针上的电信号变化而输出检测信号，所述控制器用于对信号的输入与输出进行控制及接收所述检测电路输出的检测信号并基于所述检测信号分析所述样品的热电性能。 | ||
| 搜索关键词： | 热电 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种热电检测系统，其特征在于：所述热电检测系统包括扫描探针、样品台、检测电路和控制器，所述样品台用于承载样品，所述扫描探针用于在探针激励模式接触样品以对样品进行加热以及进一步在所述探针激励模式对样品的进行检测，所述检测电路用于电连接所述扫描探针以侦测所述扫描探针在所述探针激励模式下的电信号变化以输出第一检测信号，所述控制器用于接收所述检测电路输出的第一检测信号并基于所述第一检测信号分析所述样品的热电性能，所述热电检测系统还包括加热器件，所述加热器件用于在非探针激励模式下对样品进行加热，以使所述扫描探针进一步在所述非探针激励模式对样品的进行检测，进而所述检测电路侦测所述扫描探针在所述非探针激励模式下的电信号变化并输出所述检测信号，所述控制器用于接收所述检测电路输出的检测信号并基于所述检测信号分析样品的热电性能。
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