[发明专利]功能水制造装置以及功能水制造方法有效
| 申请号： | 201710035366.6 | 申请日： | 2017-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN107021557B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 自在丸隆行;王晖;黄斗铁 | 申请（专利权）人： | 野村微科学股份有限公司;盛美半导体设备(上海)有限公司;HJS工程有限公司 |
| 主分类号： | C02F1/68 | 分类号： | C02F1/68;B01F21/00;B01F23/23;C02F103/04 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 实施方式的功能水制造装置具备：压力调整阀，将超纯水的水压调整为大致恒定的压力；供水泵，对利用上述压力调整阀调整了压力的超纯水进行加压，并能够调整加压量；溶解装置，使赋予特定的功能的功能性气体溶解于利用上述供水泵加压后的超纯水中；以及控制装置，基于溶解有上述功能性气体的功能水的水压或者流量，将上述供水泵的排出压控制为规定的恒定的压力。 | ||
| 搜索关键词： | 功能 制造 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种功能水制造装置，其特征在于，具备：压力调整阀，将超纯水的水压调整为大致恒定的压力；供水泵，对利用上述压力调整阀调整了压力的超纯水进行加压，并能够调整加压量；溶解装置，使赋予特定的功能的功能性气体溶解于利用上述供水泵加压后的超纯水中；以及控制装置，基于溶解有上述功能性气体的功能水的水压或者流量，将上述供水泵的排出压控制为规定的恒定的压力。
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