[发明专利]高光出射效率的LED芯片及其制备方法在审
申请号: | 201710037478.5 | 申请日: | 2017-01-18 |
公开(公告)号: | CN107068826A | 公开(公告)日: | 2017-08-18 |
发明(设计)人: | 郭亚楠;张韵;闫建昌;王军喜;李晋闽 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01L33/20 | 分类号: | H01L33/20;H01L33/46;H01L33/38;H01L33/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 乔东峰 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种高光出射效率的LED芯片及其制备方法,涉及半导体制备技术领域。本发明提出的LED芯片包括发光台、以及相邻发光台之间的多个刻蚀槽,可有效增大光线的出射面,改变LED芯片外延层中波导光的传播方向,增加光线的出射效率;另外,在刻蚀槽的底部或侧壁覆盖以反射层,可将外延层中的波导光反射到芯片底部,适用于背面出射的LED芯片,如倒装芯片和垂直芯片,满足了对多种类型LED芯片的适用。本发明还提出了相应LED芯片的制备方法,制备工艺简单易行成本低廉,有利于该种LED芯片的制备和产业化应用。 | ||
搜索关键词: | 高光出射 效率 led 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种LED芯片,包括:衬底,以及衬底上的发光台,所述的发光台自下而上依次包括:n型层、发光层、p型层,所述的n型层和p型层共同作用使得所述的发光层产生光线,相邻发光台之间具备刻蚀槽,用于提高光线的出射效率。
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