[发明专利]一种单片集成的MEMS气体传感器在审
| 申请号： | 201710037819.9 | 申请日： | 2017-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN106802310A | 公开（公告）日： | 2017-06-06 |
| 发明（设计）人： | 王宏臣;邱栋 | 申请（专利权）人： | 烟台睿创微纳技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/18 | 分类号： | G01N27/18 |
| 代理公司： | 烟台上禾知识产权代理事务所(普通合伙)37234 | 代理人： | 刘志毅 |
| 地址： | 264000 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种单片集成的MEMS(微机电系统)气体传感器，包括含有读出电路的衬底，所述衬底上依次设有碳化硅层、二氧化硅薄膜、绝缘层，所述绝缘层上设有若干个均匀分布的加热电极，所述加热电极贯穿所述碳化硅层、二氧化硅薄膜、绝缘层的连接金属与所述衬底中的读出电路电连接，所述两相邻加热电极上依次设有热敏层、气体敏感层和气敏型金属氧化物薄膜，所述热敏层与所述加热电极电连接，所述气体敏感层上的气敏型金属氧化物薄膜材质不同或相同；能够同时检测多种不同的气体，成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单片 集成 mems 气体 传感器 | ||
【主权项】：
一种单片集成的MEMS气体传感器，其特征在于，包括含有读出电路的衬底，所述衬底上依次设有碳化硅层、二氧化硅薄膜、绝缘层，所述绝缘层上设有若干个均匀分布的加热电极，所述加热电极贯穿所述碳化硅层、二氧化硅薄膜、绝缘层的连接金属与所述衬底中的读出电路电连接，所述两相邻加热电极上依次设有热敏层、气体敏感层和气敏型金属氧化物薄膜，所述热敏层与所述加热电极电连接，所述气体敏感层上的气敏型金属氧化物薄膜材质不同或相同。
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