[发明专利]一种基于电流体喷印技术制备可延展岛桥结构的方法有效

专利信息
申请号: 201710037993.3 申请日: 2017-01-18
公开(公告)号: CN106847707B 公开(公告)日: 2019-08-30
发明(设计)人: 黄永安;段永青;钟瑞;徐洲龙;尹周平 申请(专利权)人: 华中科技大学
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48
代理公司: 华中科技大学专利中心 42201 代理人: 梁鹏
地址: 430074 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种基于电流体喷印技术制备可延展岛桥结构的方法,该方法首先将柔性基板进行预拉伸,然后使用电流体喷印工艺在基板上打印图案,电流体喷印工艺需要在喷嘴与基板之间施加高压交流电,将溶液从喷嘴拉出后直接在预拉伸基板上沉积岛桥结构,其中岛的直径范围为10um~200um、桥的宽度范围为200nm~30um,之后释放基板预应变,岛形貌基本不变,微桥受压屈曲,形成可延展岛桥结构。本发明所提出的可延展岛桥结构制备方法具有工艺简单、成本低、可实现大面积、阵列化制备等特点,在柔性/可延展电子领域具有广泛应用前景。
搜索关键词: 一种 基于 流体 技术 制备 延展 结构 方法
【主权项】:
1.一种基于电流体喷印技术制备可延展岛桥结构的方法,其特征在于,具体步骤如下:S1.准备一柔性基板,将该柔性基板拉伸至一定的程度后固定在一刚性基板上,将固定有柔性基板的刚性基板放置在运动平台上,并用夹具进行固定;S2.制备混合均匀的电喷印溶液,将其注入注射器及喷头内,挤压溶液使其从喷头的喷嘴处均匀流出;S3.调整喷头和柔性基板之间的距离,在喷头和柔性基板之间施加高压交流电,调整高压交流电的偏置、幅值、占空比和频率,使喷嘴处产生稳定的锥射流;其中,所述高压交流电的脉冲电压处于波谷位置时,喷出的射流变细,在所述柔性基板上沉积的结构为桥,所述高压交流电的脉冲电压处于波峰位置时,喷出的射流变粗,在所述柔性基板上沉积的结构为岛;S4.调整刚性基板的移动速度,使其按照设定的运动轨迹移动,在喷嘴处的射流稳定后,直接在预拉伸的柔性基板上沉积打印出岛桥结构;S5.待打印完成后将柔性基板从刚性基板上取出,释放柔性基板的预应变,所述岛保持原形状,所述岛桥结构中的微桥发生屈曲,由此形成可延展的岛桥结构。
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