[发明专利]液体辅助激光加工方法与装置有效
| 申请号： | 201710038812.9 | 申请日： | 2017-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN106735871B | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 张文武;王斌;张天润;茹浩磊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所;宁波大艾激光科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/046 | 分类号： | B23K26/046;B23K26/146;B23K26/082;B23K26/70 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 郭玮 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明液体辅助激光加工方法与装置涉及激光加工技术领域，其目的是为了提供一种具有快速扫描功能的液体辅助激光加工方法，同时提供一种液体辅助激光加工装置，相对之前的水助激光加工技术，具备加工分辨率更高、扫描速度更快，可以方便进行复杂图案加工等优点。本发明一种液体辅助激光加工方法，包括如下步骤：步骤a，激光器发射激光束，所述激光束被引导到扫描系统中；步骤b，所述激光束被扫描系统改变路径并聚焦后与液体耦合；步骤c，所述激光束与液体耦合后进入喷嘴，与液体一同从喷嘴射出至待加工工件上。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 辅助 激光 加工 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种液体辅助激光加工方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤a，激光器发射激光束，所述激光束被引导到扫描系统中；步骤b，所述激光束被扫描系统改变路径并聚焦后与液体耦合；步骤c，所述激光束与液体耦合后进入喷嘴，与液体一同从喷嘴射出至待加工工件上,所述喷嘴的内径为0.5mm～10mm；步骤d，扫描系统控制内部的多个振镜片动作，使激光在喷嘴截面内快速扫描进行激光加工。
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