[发明专利]一种三维压电驱动微镜调节装置

摘要

本发明公开了一种三维压电驱动微镜调节装置，包括粗动台、X方向位移调节平台、Y方向位移调节平台、Z方向位移调节机构、滑轮导轨机构、压电薄膜、柔性铰链。粗动台、X方向位移调节平台、Y方向位移调节平台通过滑轮导轨机构叠加在一起，Z方向位移调节机构位于X方向位移调节平台上。在粗动台定位后，对Y方向压电薄膜施加电压，压电薄膜在逆压电作用下使两端悬臂梁产生输出位移并通过位移放大机构推动Y方向位移调解平台进行Y方向位移调节；同理，X方向压电薄膜推动X方向位移调节平台进行X方向位移调节；Z方向压电薄膜推动Z方向位移调节机构进行Z方向位移调节。本发明的三维压电驱动微镜调节装置结构简单紧凑，可实现多自由度调节，响应速度快，适用于多种场合。

主权项

1.一种三维压电驱动微镜调节装置，其特征在于，包括粗动台[1]、Y方向驱动结构、Y方向导轨机构[2]、Y方向位移调节平台[3]、Y方向柔性铰链导向机构[5]、X方向驱动机构、X方向导轨机构[4]、X方向位移调节平台[11]和X方向柔性铰链导向机构[7]；所述Y方向导轨机构[2]包括两根导轨，该两根导轨对称设置在粗动台[1]Y方向中轴线的两侧；Y方向柔性铰链导向机构[5]包括四个柔性铰链机构并两两对称于粗动台[1]Y方向中轴线；Y方向位移调节平台[3]位于两根导轨的上方并在Y方向驱动机构的驱动下沿导轨运动，该Y方向驱动机构包括两个关于粗动台[1]Y方向中轴线对称设置的致动机构，每个致动机构均包括悬臂梁和两个贴合在悬臂梁上下两端的Y方向压电薄膜驱动器[8]，其中悬臂梁与对应的Y方向位移放大机构[6]通过铰链相连，Y方向位移放大机构[6]的另一端与Y方向位移调节平台[3]相连；Y方向位移调节平台[3]上设置X方向导轨机构[4]，所述X方向导轨机构[4]包括两根导轨，该两根导轨对称设置在Y方向位移调节平台[3]X方向中轴线的两侧，X方向位移调节平台[11]位于两根导轨的上方并在X方向驱动机构的驱动下沿导轨运动，该X方向驱动机构包括两个关于Y方向位移调节平台[3]X方向中轴线对称设置的致动机构，每个致动机构均包括悬臂梁和两个贴合在悬臂梁上下两端的X方向压电薄膜驱动器[9]，其中悬臂梁与对应的X方向位移放大机构[10]通过铰链相连，X方向位移放大机构[10]的另一端与X方向位移调节平台[11]相连；在施加电压作用下，Y方向位移调节平台[3]上的X方向压电薄膜驱动器[9]由于逆压电效应产生输出力使悬臂梁产生输出位移，然后经过X方向位移放大机构[10]来实现X方向的位移调节；粗动台[1]上的Y方向压电薄膜驱动器[8]产生输出力使悬臂梁产生输出位移，然后经过Y方向位移放大机构[6]来实现Y方向的位移调节。