[发明专利]一种离子注入装置有效
| 申请号： | 201710042054.8 | 申请日： | 2017-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN106816351B | 公开（公告）日： | 2018-08-17 |
| 发明（设计）人： | 张豪峰;陈建荣;任思雨;苏君海;李建华 | 申请（专利权）人： | 信利（惠州）智能显示有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/20 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 章兰芳 |
| 地址： | 516029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种离子注入装置，包括用于产生等离子体的离子源和用于引出带状离子束的引出电极系统，还包括第一装卸载腔室、第一加速腔室、扫描腔室、第二加速腔室、第二装卸载腔室；所述扫描腔室内设有磁悬浮轨道；在所述第一加速腔室、第二加速腔室、扫描腔室的加速轨道和磁悬浮轨道上设有扫描基板夹具；所述扫描基板夹具携带基板倾斜至设定角度后在推进装置的带动下在第一加速腔室的加速轨道上做加速运动并进入扫描腔室中；本发明通过在扫描腔室内设置磁悬浮轨道并通过扫描基板夹具携带的基板倾斜至设定角度后进入扫描腔室中扫描，改善了基板的离子注入的均一性，使得打在基板上的离子的注入剂量得到自约束的调整。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 装置 | ||
【主权项】：
1.一种离子注入装置，包括用于产生等离子体的离子源和用于引出带状离子束的引出电极系统，其特征在于：还包括第一装卸载腔室、第一加速腔室、扫描腔室、第二加速腔室、第二装卸载腔室；所述第一装卸载腔室、第一加速腔室内设有第一真空闸阀和用于与外部连通的第一大气闸阀；所述第二装卸载腔室、第二加速腔室内设有第二真空闸阀和用于与外部连通的第二大气闸阀；所述第一加速腔室和第二加速腔室内设有加速轨道；所述扫描腔室内设有磁悬浮轨道；在所述第一加速腔室、第二加速腔室的加速轨道和扫描腔室的磁悬浮轨道上设有扫描基板夹具；所述第一装卸载腔室与所述第二装卸载腔室内分别设有第一装卸载基板夹具与第二装卸载基板夹具；所述第一装卸载基板夹具连接第一旋转基座；所述第二装卸载基板夹具连接第二旋转基座；所述扫描基板夹具连接第三旋转基座；所述扫描基板夹具携带基板倾斜至设定角度后在推进装置的带动下在第一加速腔室的加速轨道上做加速运动并进入扫描腔室中；所述扫描基板夹具携带所述基板在所述扫描腔室的磁悬浮轨道的电磁支撑下匀速滑行并进行离子注入。
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