[发明专利]基于复合波导光栅的光学生物传感器在审
| 申请号： | 201710042969.9 | 申请日： | 2017-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN106706564A | 公开（公告）日： | 2017-05-24 |
| 发明（设计）人： | 路海;黄蒙;李丽君;夏世强;刘孝宇;张现周 | 申请（专利权）人： | 河南师范大学 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41 |
| 代理公司： | 新乡市平原专利有限责任公司41107 | 代理人： | 于兆惠 |
| 地址： | 453007 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于复合波导光栅的光学生物传感器，属于复合波导光栅的倒模共振技术领域。本发明的技术方案要点为基于复合波导光栅的光学生物传感器，复合波导光栅的基底材料二氧化硅上生长有一层硅薄膜，该硅薄膜的横向正中部位刻蚀有宽度为fb且纵向长度与硅薄膜纵向长度一致的B区域，B区域的两侧分别均匀等间距fa刻蚀有多个宽度为fc且纵向长度与硅薄膜纵向长度一致的C区域，其中fa+fb+fa+fc＝1μm。本发明能够有效解决光学生物传感器灵敏度不高和品质因数不高的问题，复合波导光栅具有结构简单、灵敏度高、品质因数大和检测过程操作简便等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 复合 波导 光栅 光学 生物 传感器 | ||
【主权项】：
基于复合波导光栅的光学生物传感器，包括复合波导光栅，其特征在于：所述复合波导光栅的基底材料二氧化硅上生长有一层硅薄膜，该硅薄膜的横向正中部位刻蚀有宽度为fb且纵向长度与硅薄膜纵向长度一致的B区域，B区域的两侧分别均匀等间距fa刻蚀有多个宽度为fc且纵向长度与硅薄膜纵向长度一致的C区域，其中fa+fb+fa+fc＝1μm。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河南师范大学，未经河南师范大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710042969.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
