[发明专利]等离子体光谱分析装置

摘要

本发明涉及等离子体光谱分析装置。本发明的目的在于在使用了消费流量较高的气体的等离子体光谱分析装置中，实现有效的气体过滤，提高其分析能力。为此，本发明提供一种等离子体光谱分析装置，其具备：生成并送出包含待分析试样的喷射气体的试样导入部、生成待导入喷射气体的等离子体的等离子体生成部、以及设置在等离子体生成部的后段对待分析试样进行分析的分析部。该等离子体光谱分析装置具备：用于向试样导入部供给气体的第一气体管线、用于向等离子体生成部供给气体的第二气体管线、以及设置于第一气体管线并用于除去气体中包含的杂质的过滤器。

主权项

一种等离子体光谱分析装置，其具备：生成并送出包含待分析试样的喷射气体的试样导入部、生成待导入所述喷射气体的等离子体的等离子体生成部、以及设置在所述等离子体生成部的后段、对待分析试样进行分析的分析部，其中，所述等离子体光谱分析装置具备：用于向所述试样导入部供给气体的第一气体管线、用于向所述等离子体生成部供给气体的第二气体管线、以及设置于所述第一气体管线、用于除去气体中包含的杂质的过滤器。