[发明专利]基于PET柔性衬底的背栅黑磷场效应晶体管及制备方法有效
| 申请号： | 201710046400.X | 申请日： | 2017-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN106784009B | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 姜耀华;郑蓓蓉;王权;薛遥;薛伟 | 申请（专利权）人： | 温州大学 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L29/12;H01L21/336 |
| 代理公司： | 杭州万合知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33294 | 代理人： | 余冬 |
| 地址： | 325035 浙江省温州市瓯海经济*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于PET柔性衬底的背栅黑磷场效应晶体管，其特征在于：包括依次设置的PET柔性衬底（1）、Au栅电极（3）、HfO2绝缘层（5）和黑磷薄片（6）；黑磷薄片（6）上设有Au漏电极（7）和Au源电极（8），所述PET柔性衬底（1）与Au栅电极（3）之间设有PDMS层（2），Au栅电极（3）与HfO2绝缘层（5）之间设有TiO2缓冲层（4）。本发明不仅保证具有良好的输出特性的性能，而且工艺易于控制，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 pet 柔性 衬底 黑磷 场效应 晶体管 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.基于PET柔性衬底的背栅黑磷场效应晶体管，其特征在于：包括依次设置的PET柔性衬底(1)、Au栅电极(3)、HfO2绝缘层(5)和黑磷薄片(6)；黑磷薄片(6)上设有Au漏电极(7)和Au源电极(8)，所述PET柔性衬底(1)与Au栅电极(3)之间设有PDMS层(2)，Au栅电极(3)与HfO2绝缘层(5)之间设有TiO2缓冲层(4)；所述黑磷薄片的厚度为40‑50nm。
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