[发明专利]一种热温差型风速传感器及其制备方法和检测方法有效
| 申请号： | 201710046450.8 | 申请日： | 2017-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN106814212B | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 易真翔;董蕾;王立峰;秦明;黄庆安 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01P5/12 | 分类号： | G01P5/12 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 杨晓玲 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出一种热温差型风速传感器，包括陶瓷衬底、布置在陶瓷衬底上的发热元件、布置在陶瓷衬底正面且以发热元件为中心呈中心对称分布的至少两组感温元件，布置在陶瓷衬底背面且与感温元件位置正对应的至少两组测温元件。进一步，发热元件为布置在陶瓷衬底背面的加热电阻，通过施加直流电发热；感温元件是金属块，测温元件是电感线圈。还公开了这种热温差型风速传感器的制备方法，以及基于这种热温差型风速传感器的风速检测方法。通过这种结构的热温差型风速传感器，实现正面感风的风速检测，提高风速传感器的灵敏度并降低功耗，同时还能避免采用键合线技术和衬底通孔技术，成本低，易于产业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 温差 风速 传感器 及其 制备 方法 检测 | ||
【主权项】：
1.一种热温差型风速传感器的制备方法，其特征在于包括如下步骤：S1、准备绝缘的陶瓷衬底；S2、在陶瓷衬底正面旋涂光刻胶，固化；S3、利用光刻技术去除正面需要生长元件部分的光刻胶；S4、溅射金属材料，泡入丙酮溶液中，剥离，形成衬底正面的感温元件；S5、在陶瓷衬底背面旋涂光刻胶，固化；S6、利用光刻技术去除背面需要生长元件部分的光刻胶；S7、溅射金属材料、泡入丙酮溶液中，剥离，形成衬底背面的发热元件和测温元件。
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