[发明专利]一种对金属铈表面进行改性的方法

摘要

一种对金属铈表面进行改性的方法，属于稀土金属腐蚀防护技术领域。该方法利用双离子束溅射沉积系统，在打磨抛光的金属铈表面首先进行氩离子溅射清洗，然后进行氮化反应溅射处理生成氮化铈镀层，最后再用陶瓷靶材如氮化钛进行直接溅射，生成氮化钛陶瓷镀层，最终在铈表面形成氮化铈和氮化钛复合的双层镀层。通过对金属铈进行氮化处理和沉积氮化钛镀层，金属铈抗老化腐蚀性能明显增强，通过电化学极化曲线测试表明，处理前后金属铈腐蚀电流密度可降低约5倍，同时氮化铈和氮化钛镀层均为金黄色镀层，从而增加了金属铈的表面美观效果。

主权项

1.一种对金属铈表面进行改性的方法，其特征在于该方法按如下步骤进行:1)采用双离子束溅射沉积系统，利用辅源对抛光的金属铈表面进行氩离子溅射清洗，系统工作压强为0.8×10^‑2Pa～1.0×10^‑2Pa；2)同时开启主源和辅源，主源采用氩离子，氩气流量为6sccm～8sccm，辅源采用氮离子，氮气流量为4sccm～5sccm，对清洗后的金属铈进行反应溅射氮化处理，形成一层氮化铈镀层，系统工作压强为1.0×10^‑2Pa～2.3×10^‑2Pa；3)在双离子束系统不打开真空腔室的条件下，自动旋转靶台至氮化钛陶瓷靶，系统工作压强控制在1.0×10^‑2Pa～2.3×10^‑2Pa，进行氮化钛镀层溅射沉积，使氮化铈镀层上面再形成一层氮化钛镀层，最终在金属铈表面形成氮化铈和氮化钛复合的双层镀层。