[发明专利]一种基于FRAM的工艺规程风险评价方法

摘要

本发明提供一种基于FRAM的工艺规程风险评价方法，其包括以下步骤：S1、利用FRAM对工艺规程进行建模：确定工艺规程的活动子模块，对活动子模块进行变异以及变异的耦合分析，根据分析结果进行建模；S2、建立基于FRAM的工艺规程风险评价方法：识别工艺过程中潜藏的导致不期望事件发生的路径(工艺活动变异耦合方式)以及路径中的关键活动，进而识别工艺规程中的存在的相关缺陷；S3、基于消除发生路径的目的，从路径中关键活动变异抑制或消除的角度提出工艺规程改进方案，并进行有效性验证。本发明能够对工艺规程进行建模，基于模型进行风险评价，并根据评价结果得到工艺规程改进方案。对工艺规程进行改进。

主权项

1.一种基于FRAM的工艺规程风险评价方法，其特征在于：其包括以下步骤：S1、利用FRAM对工艺规程进行建模：确定工艺规程的活动子模块，对活动子模块进行变异以及变异的耦合分析，根据分析结果进行建模；S1中利用FRAM对工艺规程进行建模具体包括：S11、采用有限状态机进行规约，得到FSM模型；S12、用promela对以上的到的FSM模型进行描述，得到promela模型；S13、将得到的promela模型和约束条件输入SPIN的界面进行验证，得到多条不期望事件发生路径；S2、建立基于FRAM的工艺规程风险评价方法：通过模型检测对所建模型进行分析，得到不期望事件的发生路径，根据路径中变异传播的方式识别路径中的关键工艺活动，根据关键工艺活动呈现的变异状态识别工艺规程中存在的相关缺陷；S3、针对工艺规程中存在的相关缺陷提出工艺规程改进方案：基于消除发生路径的目的，从抑制或消除路径中关键工艺活动变异的角度提出工艺规程改进方案；S4、对工艺规程改进方案进行验证：计算工艺规程改进方案的有效性Z，当工艺规程改进方案的有效性Z小于0时，判定为工艺规程改进方案有效，且绝对值越大表示改进越有效，相反则判定为改进方案无效，工艺规程改进方案的有效性Z的计算公式如下：其中，A为改进后工艺规程不期望事件的发生路径的数量，A°为改进前工艺规程不期望事件的发生路径的数量。